【电报解读】极紫外光刻新技术问世，功耗还不到传统EUV光刻机的十分之一，这家公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套

极紫外光刻新技术问世，功耗还不到传统EUV光刻机的十分之一，光源是光刻机核心系统之一，这家公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，另一家已参与高能同步辐射光源项目。