半导体设备+先进封装,混合键合设备已获重复订单,近5年营收复合年均增长率超81%,一季度末合同负债为去年营收一半,PECVD设备用于存储芯片制造及先进封装领域,这家国内半导体设备龙头累计出货超过1510个反应腔,已获得中芯国际、华虹集团、长江存储等厂商认可。